2025年5月13日，中国材料与试验标准化委员会科学试验标准化领域委员会科学试验评价标准化技术委员会（CSTM/FC98/TC04）标准立项评估会在北京召开，会议对《扫描电子显微镜（SEM）纳米级长度标尺校准技术规范》、《扫描电子显微镜（SEM）图像分辨率评估方法》和《扫描电子显微镜（SEM）分辨率评定技术规范》等三项团体标准进行了立项评估。会议由中国钢研科技集团有限公司王海舟教授主持，来自中国出入境检验检疫协会、北京大学分析测试中心、中山大学分析测试中心和钢研纳克检测技术股份有限公司的4位专家出席了会议。标准起草单位中国科学技术大学代表以及CSTM/FC98科学试验标准化领域委员会秘书处等14余人参加了此次立项评估。

会议现场

会上，专家组听取了起草单位对申报标准的情况汇报，包括标准制定的必要性和可行性，标准技术水平的先进性和创新性，标准前期技术准备工作，标准的应用前景以及工作组构成等方面。与会专家对标准的技术内容及与现有标准的关系进行了质询，并提出了意见和建议。最后《扫描电子显微镜（SEM）纳米级长度标尺校准技术规范》、《扫描电子显微镜（SEM）分辨率评定技术规范》和《扫描电子显微镜（SEM）图像分辨率评估方法》等三项团体标准一致通过了立项评估，建议标准编制组参考会议提出的意见尽快修改，形成征求意见稿。

《扫描电子显微镜（SEM）纳米级长度标尺校准技术规范》标准的提出与制定，为扫描电子显微镜（SEM）的纳米级长度标尺校准建立标准化的工作程序，支持SEM在半导体制造等领域对高精度测量分析的需求、CSTM对各个仪器厂家的SEM产品的实际分辨率的评定、以及SEM用户日常校准的需要。

《扫描电子显微镜（SEM）分辨率评定技术规范》标准的提出与制定，为扫描电子显微镜（SEM）的主要技术参数——分辨率建立统一的测试标准程序，保证不同品牌、型号的SEM在相同条件下进行分辨率评估，并能够得出可比较的定量结果。这有助于用户准确了解设备的实际性能，为购买决策提供依据。

《扫描电子显微镜（SEM）图像分辨率评估方法》标准规定了用于评估扫描电子显微镜（SEM）生成的数字图像分辨率的方法。通过建立统一的分辨率定量计算方法和程序，保证了在对SEM图像进行评估时不用人工介入，得到的数值结果具有高度可信赖性和准确性，以确保SEM设备的分辨率评估方法是建立在科学、客观、公正的基础上。