经中国材料与试验团体标准委员会（以下简称：CSTM标准委员会）光电材料及产品领域委员会审查，CSTM标准委员会批准CSTM标准《193nm光刻机用宽角减反射膜技术规范》立项，标准项目归口管理委员会为CSTM/FC60/TC05光电材料及产品领域委员会光学薄膜标准化技术委员会，该标准（中文版）立项编号为CSTM LX 6005 00599-2020，标准（英文版）立项编号为CSTM LX 6005 00599-2020 E，标准牵头单位为中国科学院上海光学精密机械研究所，特此公告。
如有单位或个人对该标准项目存在异议，请在公告之日起30日内将意见反馈至CSTM标准委员秘书处。
如有单位或个人愿意参与该标准项目的工作，请与项目牵头单位联系。
CSTM标准委员会秘书处联系方式
联系人：陈鸣，罗倩华
办公电话：010-62187521
手机：13011072266，13611338417
邮箱：chenming@ncschina.com, luoqianhua@ncschina.com
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邮编：100081
项目牵头单位联系方式
联系人：张伟丽
手机：18917150821
邮箱：wlzhang@siom.ac.cn
CSTM标准委员会
2020年12月30日