2024年11月 11日，中国材料与试验团体标准委员中国材料与试验标准化委员会科学试验标准化领域委员会科学试验创新方法技术委员会结构形貌创新方法标准化分技术委员会( FC98/TC02/SC02) 标准立项评估会在北京召开，会议对《MOS静电击穿失效点微观形貌双束电镜法表征》等 4项团体标准进行了立项评估(见表1)。会议由李继康正高级工程师主持，来自钢铁研究总院有限公司、清华大学、北京大学和天津大学的5 位专家出席了会议。标准起草单位代表以及FC98/TC02/SC02委员会秘书处等10余人参加了此次立项评估。此次会议采取线上线下的方式进行。

会议现场

会上，专家组听取了起草单位对申报标准的情况汇报，包括标准制定的必 要性和可行性，标准技术水平的先进性和创新性，标准前期技术准备工作，标 准的应用前景以及工作组构成等方面。与会专家对标准的技术内容及与现有标 准的关系进行了质询，并提出了意见和建议。最后， 四项标准一致通过了立项评估，建议标准编制组参考会议提出的意见尽快修改，形成征求意见稿。

此四项材料数据相关标准的提出与制定，实现了多种新材料的微观形貌表征，在半导体、光伏等领域具有广泛的应用价值。

 表 1 立项评估标准